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不平凡的釩靶HiPIMS（放電區(qū)直徑約３０ｍｍ放電電流達１４０Ａ）
金屬釩（V）作為一種高熔點的稀有金屬材料，常與鈮、鉭、鎢、鉬并稱為難熔金屬。金屬釩具有耐鹽酸和硫酸的性能，并且耐氣-鹽-水腐蝕的性能要比大多數(shù)不銹鋼好。在某些特殊的重要場合，金屬V薄膜常被用來作為高溫隔離防護涂層，因此開展V靶HIPIMS放電特性方面的研究工作具有重要的意義。
6種靶材HiPIMS放電大不相同，設(shè)計工藝要知道!
HiPIMS放電，由于工作在放電曲線的特殊區(qū)域，其放電特性不僅依賴于使用的氣壓、電壓，更依賴于靶材。更由于HiPIMS工作模式是脈沖工作，其放電特性具有時間特征，而表現(xiàn)出不同的放電特性。這里我們選用常用的幾種靶材（Cu，Cr，Mo，Ti，V和C），給出了他們的放電特性。這種與時間相關(guān)的放電特性，對于工藝設(shè)計是非常重要的。
雙脈沖HiPIMS比傳統(tǒng)HiPIMS沉積速率提高近3倍
一種新型的高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS)技術(shù)，即放電由脈寬短、電壓高的引燃脈沖和脈寬長、電壓低的工作脈沖2部分組成的雙脈沖高功率脈沖磁控濺射技術(shù)，目的是解決傳統(tǒng)高功率脈沖磁控濺射沉積速率低的問題。
真空弧放電下不同尋常的陰極腐蝕圖案
對于真空弧放電下的弧斑導致的陰極材料的腐蝕研究其實由來已久。對于真空弧放電下的弧斑主要有兩種，一種是移動較快、較小、較暗的弧斑，主要發(fā)生在較臟的靶面和氧化的靶面；另一種是移動較慢、較大較亮的弧斑，其主要發(fā)生在干凈和惰性氣體放電時的靶面。
DLC涂層 - 汽車雨刮器的“便衣”
雨刮器是汽車的重要裝置，對于安全行車具有至關(guān)重要的作用。
好的雨刮器必須具備耐熱、耐寒、耐酸堿、抗腐蝕、能貼合擋風玻璃、減輕馬達負擔、低噪音、撥水性強、質(zhì)軟不刮傷擋風玻璃等特點，能使你視野清晰。
多孔陶瓷材料的等離子體滲透性研究
氧化鋅（ZnO）作為一種高帶隙半導體，以其出色的化學穩(wěn)定性和生物相容性廣泛應(yīng)用于氣體傳感和催化等領(lǐng)域，尤其是具有三維多孔骨架結(jié)構(gòu)的t-ZnO。通過控制t‐ZnO的晶體形態(tài)和缺陷結(jié)構(gòu)，可以適應(yīng)不同的應(yīng)用，其中就包括對氧化鋅進行等離子體表面改性處理來改善其電導率等性能。為了將三維多孔t‐ZnO的優(yōu)點與等離子體表面改性相結(jié)合，必須讓等離子體穿透到多孔骨架結(jié)構(gòu)中。由于高能等離子體會導致聚合物表面C-C和C-H鍵的解離并使C自由基位點上附著新的原子或基團，